Tungku Terowongan Bersih untuk Industri Semikonduktor

Clean Tunnel Furnace untuk Industri Semikonduktor adalah peralatan pemanas dan penanganan yang dirancang khusus untuk proses produksi semikonduktor. Peralatan ini menggabungkan pemrosesan suhu tinggi dengan persyaratan lingkungan yang sangat bersih untuk memenuhi standar kebersihan dan kontrol presisi yang ketat dalam produksi chip semikonduktor.

Fitur Peralatan

1. Sistem pemanas: pemanasan inframerah jauh, efek radiasi tinggi, kecepatan pemanasan lebih cepat, distribusi tabung pemanas masuk akal, setiap zona suhu kontrol independen, sesuai dengan kebutuhan proses suhu bagian pemanas

2. Sistem kontrol suhu: PLC + kontrol layar sentuh penyelesaian, menggunakan pemanas kontrol keluaran pulsa, SSR, untuk menghindari dampak arus sesaat, fluktuasi kontrol suhu, dan dampak lainnya, dengan termostat keluaran DC24V, yang dapat membuat tegangan keluaran menjadi keluaran halus, efek kontrol suhu lebih stabil, suhu lebih akurat, dengan penyetelan otomatis PID, termostat otomatis, pengaturan waktu otomatis dapat lebih dari nilai suhu yang ditetapkan, pemutusan otomatis pemanas. Ketika suhu melebihi nilai yang ditetapkan, daya pemanas serta alarm suara dan lampu akan otomatis terputus.

3. Isolasi peralatan: isolasi wol batu silikat aluminium terenkripsi 100K, kotak di luar dasar untuk mempertahankan suhu ruangan normal, suhu sekitar memiliki dampak yang lebih kecil.

4. Perlindungan keselamatan: perlindungan kebocoran, perlindungan saluran, perlindungan hubung singkat, perlindungan kelebihan beban, perlindungan suhu berlebih.

5. Sesuai dengan kebutuhan produksi dapat dilengkapi dengan filter efisiensi tinggi yang tahan suhu tinggi, kelas bersih CLASS1000.

6. Pengangkutan: Sabuk jala Teflon, sabuk jala baja tahan karat atau pengangkutan rantai pelat dapat dipilih sesuai kebutuhan, dan kecepatan pengangkutan dapat disesuaikan dengan konversi frekuensi.

7. Bagian dalam badan tungku terbuat dari pelat baja tahan karat SUS304# untuk menjaga bagian dalam tungku tetap bersih, dan permukaan peralatan diperlakukan dengan cat kue.

8. Mendukung pelacakan kode produk dan sistem MES (opsional).

Aplikasi

Clean Tunnel Furnace banyak digunakan dalam industri manufaktur semikonduktor, terutama dalam pembuatan chip, pengemasan, dan pengujian serta mata rantai utama lainnya. Tungku ini berperan penting dalam meningkatkan hasil produksi chip semikonduktor, mengurangi biaya produksi, dan memperpendek siklus produksi.